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半導體器件性能的好壞，在很大程度上取決于所用電子氣體的質量，電子氣體純度每提高一個數(shù)量級，氣體供應，都會極大地1推動半導體器件質的飛躍，正因如此，發(fā)達國家都在積極發(fā)展具有自主知識產權的電子化學氣體，并且取得了明顯的效果，由于電子氣體質量決定著ic技術的發(fā)展，而半導體器件又廣泛地應用于民用和軍1工領域，且發(fā)展勢頭強勁，它影響到國民經濟和國防的許多方面，因此，有關電子氣體的生產、凈化、包裝、分析等在國際上多屬高度保密的技術。同光電子、微電子工業(yè)一樣，我國電子氣體的研究與生產起步較晚，資金投入量也顯得相對不足。改革開放以來，中國政府已將ic產業(yè)列為國家重點發(fā)展的支柱產業(yè)，因此，特種氣體，電子工業(yè)、光電子產業(yè)、光纖制造業(yè)發(fā)展迅猛。

新華社北京３月１３日電（記者張泉、劉詩平）電子特種氣體被稱作電子工業(yè)的“血液”。中船重工７１８所副所長郭建增告訴記者，杭州氣體，７１８所將努力打造世界重要的電子特種氣體供應商，為我國集成電路產業(yè)發(fā)展提供堅實支撐。

電子特種氣體是三氟化氮、六氟化鎢等一系列特種氣體材料的總稱，是大規(guī)模集成電路、液晶面板行業(yè)生產的關鍵材料。然而，電子特種氣體過去長期被國外企業(yè)壟斷，嚴重影響我國半導體產業(yè)的發(fā)展與產業(yè)鏈完善，影響我國集成電路、半導體相關產品的國際競爭力。

特種氣體是由兩大類氣體組成的。一類為單元高純氣體，另一類為混合氣體。

氣體產品大致可以分為兩大類別， 即一般工業(yè)氣體和特種氣體。一般工業(yè)氣體是指經過空氣分離設備制造的普通級的氧氣和氮氣、經過焦爐氣分離或電解等方法制造出來的普通純度的其它種類氣體。工業(yè)氣體一般要求生產量大， 但對氣體的純度要求不高。特種氣體則是用途有別于一般氣體的氣體，是一個籠統(tǒng)的概念。它在純度、品種、性能等方面都是嚴格按照一定規(guī)格進行生產和使用的。一般認為， 它是由電子氣體、高純石油化工氣體、標準混合氣體組成。

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